晶片传输系统中切边探测和预对准技术

• 作者: 杨兴平
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 投影光刻 晶片传输 切边 探测 机械预对准 光学预对准
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 新设备与新技术
• 页码范围: 43-47
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 2067字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2003.01.013

摘要

介绍投影光刻机设备的晶片传输系统中切边探测和晶片预对准技术.