悬空结构射频微电感的制作研究

• 作者: 周勇 王西宁 蔡炳初 赵小林
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 悬空结构 微电感 射频
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 69-72
• 页数: 4页
• 分类号: TM55
• 字数: 1202字
• 语种: 中文

摘要

利用MEMS工艺中的牺牲层技术制作了一种新型悬空结构微电感,在此悬空结构中,微电感的线圈制作在与衬底平行的平面上,线圈与衬底之间有立柱支撑;此新型微电感的高频性能较好,且其制作工艺流程简单,与集成电路工艺相兼容.测量结果表明:当工作频率在2 GHz～3 GHz范围内时,此悬空结构微电感电感量达到4.2 nH,Q值最大可达到37.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周勇	上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	35	473	12.0	21.0
2	蔡炳初	上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	49	769	15.0	26.0
3	赵小林	上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	56	549	13.0	20.0
4	王西宁	上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	4	36	4.0	4.0