BPxN1-x薄膜的制备及磷元素对其光学能隙的影响

• 作者: 张溪文 徐世友 祁英昆 韩高荣
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: BPxN1-x薄膜 光学能隙 磷掺杂 紫外液晶光阀
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 335-338
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2737字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2003.03.005

摘要

本文从应用出发,选择光学石英为衬底,采用热丝辅助射频化学气相沉积的方法沉积BPxN1-x薄膜,对样品进行了X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见等测试.XRD、SEM结果显示薄膜多晶态,表面形貌随时间变化,最终为胞状;紫外-可见光光谱结果显示BPxN1-x薄膜的紫外吸收边随沉积时间的加长、PH3流量的增加而向长波长方向移动.因此,该材料的光学能隙可以通过生长工艺适当调整.另外,BPxN1-x薄膜与液晶层能较好匹配等特性更使其适用于紫外空间光调制器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩高荣	硅材料国家重点实验室浙江大学材料系	12	117	6.0	10.0
2	张溪文	硅材料国家重点实验室浙江大学材料系	3	28	1.0	3.0
3	徐世友	硅材料国家重点实验室浙江大学材料系	1	1	1.0	1.0
4	祁英昆	硅材料国家重点实验室浙江大学材料系	1	1	1.0	1.0