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基于微硅片的新型车用热膜式空气流量计
汽车空气流量计
微硅片
热膜式空气流量计
硅片处理预对准系统的研究
硅片预对准
压电马达控制
圆拟合算法
缺口检测
硅片涂胶及软烘自动设备的研制
PLC
精确传输
滴胶量控制
温度控制
面向IC制造的硅片机器人传输系统综述
集成电路
硅片机器人传输系统
硅片机器人
预对准装置
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 新型纳米硅片
来源期刊 光学精密机械 学科 工学
关键词 纳米硅片 纳米技术 俄罗期科学院 单晶锥体
年,卷(期) 2003,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 17-18
页数 2页 分类号 TB383
字数 语种
DOI
五维指标
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2003(0)
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研究主题发展历程
节点文献
纳米硅片
纳米技术
俄罗期科学院
单晶锥体
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密机械
季刊
长春市卫星路7089号
出版文献量(篇)
3901
总下载数(次)
5
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