微辐射热计的光学与热学设计

• 作者: 刘理天 岳瑞峰 董良
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微辐射热计 红外吸收率 光学设计 热学设计
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 页码范围: 109-113
• 页数: 5页
• 分类号: TN21
• 字数: 3658字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2003.02.007

摘要

针对四臂微桥结构的微辐射热计的光学和热学设计,分析了SiO2红外吸收层/ poly-Si热敏感薄膜电阻层/SiO2支撑薄膜层的多层薄膜的光学特性,研究了SiO2红外吸收层的厚度对多层膜系平均红外吸收率的影响.与常规设计思想不同的是,我们没有假设微辐射热计的平均红外吸收率一定,而将不同厚度的SiO2红外吸收层所对应的膜系平均红外吸收率用于微桥的热学设计中,通过有限元分析软件ANSYS5.7,得到SiO2红外吸收层的最佳厚度,并对微桥支撑臂进行了优化设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董良	清华大学微电子学研究所	21	87	5.0	8.0
2	岳瑞峰	清华大学微电子学研究所	67	379	11.0	15.0
3	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0