大面积光学级金刚石自支撑膜研究进展

• 作者: 佟玉梅 吕反修 唐伟忠 李成明 陈广超
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学级金刚石膜 制备和加工 光学性能 热学性能 机械性能 微波介电性能
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TN213
• 字数: 5887字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2003.04.001

摘要

大面积光学级金刚石自支撑膜的制备和加工是近年来在CVD金刚石研究领域的最重要的技术进展之一.综述了北京科技大学近年来在CVD金刚石膜光学应用领域的研究进展.给出了采用高功率直流电弧等离子体喷射(DC Arc Plasma Jet) CVD工艺制备大面积光学级金刚石自支撑膜的研究结果, 并报道了对所制备的光学级金刚石自支撑膜的光学、力学(机械)、热学和微波介电性能的最新研究结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料学院功能材料研究所	151	1208	18.0	24.0
2	唐伟忠	北京科技大学材料学院功能材料研究所	106	860	16.0	21.0
3	陈广超	北京科技大学材料学院功能材料研究所	27	235	9.0	14.0
4	李成明	北京科技大学材料学院功能材料研究所	71	480	12.0	19.0
5	佟玉梅	北京科技大学材料学院功能材料研究所	22	268	10.0	15.0