热氧化法制备纳米ZnO薄膜及其发光特性的研究

• 作者: 刘益春 吕有明 张吉英 张喜田 王丹 申德振 范希武
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米ZnO薄膜 X射线衍射 紫外光致发光
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 570-572
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 3101字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2003.05.033

摘要

用热氧化ZnS薄膜方法制备纳米ZnO薄膜, 并用X射线衍射谱,光致发光谱表征和研究纳米ZnO薄膜结构特征及热氧化温度对薄膜质量的影响. X射线衍射结果表明纳米ZnO薄膜具有六角纤锌矿结构,且随热氧化温度升高,薄膜晶粒尺寸逐渐增大.光致发光谱是由紫外激子发光和与氧空位有关的深能级缺陷发光组成的,且随热氧化温度升高,激子发光峰发生红移,激子发光和深能级缺陷发光强度之比逐渐增大,在热氧化温度为800℃时,其比值为10.