化学气相沉积金刚石膜的光学性质

• 作者: 孙亦宁 张继华 李敬起 柳湘怀 王曦 郭晚土 雷青松 高欣
• 来源期刊: 兰州大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 红外谱 光学性质
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 页码范围: 35-38
• 页数: 4页
• 分类号: O433.4|TQ164
• 字数: 2517字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0455-2059.2003.02.011

摘要

多晶金刚石膜的光学性质与工艺参数密切相关.采用一较为完备的金刚石透过率模型,研究了一系列金刚石膜在中远红外区的光学性质.并得出了不同衬底预处理方法和反应室中甲烷分压对CVD膜的平均透过率、表面粗糙度、非金刚石相含量、各种成分的吸收系数等光学性质的影响,计算结果与实测结果一致.