不同气氛条件下类金刚石薄膜的合成

• 作者: 任万才 李培勋 王天民 达国祖
• 来源期刊: 机械研究与应用
• 关键词: 类金刚石薄膜 聚合物热解 碳源物质
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与分析
• 页码范围: 49-50
• 页数: 2页
• 分类号: TG115
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-4414.2003.03.025

摘要

采用热处理涂覆在基体上的聚合物的方式得到类金刚石薄膜, 所能得到的类金刚石薄膜的厚度是有限的.采用再次或多次涂覆的方法可以解决这个问题,但是薄膜的质量并不理想.采用惰性气体把溶于四氢呋喃的苯甲酸萘,二甲苯萘以及溶于四氢呋喃的聚合物带入反应室,作为碳源物质参与类金刚石薄膜的合成.结果表明,在热处理过程中通入的碳源物质在不同程度上都有利于类金刚石薄膜中sp2和sp3碳的增加,薄膜的质量得到提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王天民	兰州大学物理科学与技术学院	140	1545	22.0	32.0
5	李培勋	兰州大学物理科学与技术学院	7	129	6.0	7.0
6	任万才		3	17	2.0	3.0
7	达国祖		7	75	4.0	7.0