SiGe技术、器件及其应用

• 作者: 翁寿松
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: SiGe技术 应变硅技术 SiGe器件应用
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 器件与制造
• 页码范围: 49-52
• 页数: 4页
• 分类号: TN303
• 字数: 3607字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2004.06.013

摘要

SiGe技术和SOI技术将是21世纪硅集成的重要技术,它们相互补充,改善晶体管的速度和性能.本文介绍了SiGe技术、器件和应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	翁寿松		95	534	13.0	18.0