热激励谐振式硅微结构压力传感器

• 作者: 樊尚春
• 来源期刊: 科学技术与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微传感器 热激励 谐振式传感器 压力传感器
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 报告
• 页码范围: 426-429
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2657字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-1815.2004.05.024

摘要

针对一种以矩形硅膜片为一次敏感元件、硅梁谐振子为二次敏感元件采用电阻热激励、压敏电阻拾振的谐振式压力微传感器,简述了其工作机理;从谐振式硅微传感器整体优化设计、闭环系统优化设计、微弱信号检测、敏感元件工艺实践、开环特性测试等方面介绍了该传感器研究与研制过程中近期取得的阶段性研究结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊尚春	北京航空航天大学仪器学院测控与信息技术系	161	841	15.0	21.0