纳米岛光刻技术及其应用

• 作者: Mino Green 伊福廷
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻 纳米岛 纳米技术 微加工
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 22-26
• 页数: 5页
• 分类号: TN3
• 字数: 2969字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种基于微加工技术的新方法--纳米岛光刻技术.利用该技术制造出几十纳米到微米尺度的岛结构,然后利用剥离、刻蚀等微加工技术,将该岛转化成纳米孔、纳米岛、纳米井等结构.该技术的特点是能够制造出具有各种密度的纳米结构(最高覆盖率可达50%以上),且开发成本低,工艺性能优越,是一种有效制造纳米岛结构的专业方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	伊福廷	中科院高能物理研究所	4	49	2.0	4.0