Zn-Sn-O透明导电膜的制备和光电性质

• 作者: 余旭浒 王玉恒 计峰 马洪磊 马瑾 黄树来
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 透明导电膜 Zn-Sn-O 射频磁控溅射
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 519-521
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.2|TN304.055
• 字数: 1225字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2004.03.019

摘要

采用射频磁控溅射法在7059玻璃衬底上低温制备出Zn-Sn-O透明导电薄膜.制备薄膜为非晶结构,并且具有很好的稳定性,与玻璃衬底具有良好的附着性.薄膜主要是依靠膜中的氧空位导电,薄膜的电阻率强烈地依赖溅射气体中的氧分压.制备薄膜的最低电阻率为2.27×10-3 Ω·cm,在可见光范围内的平均透过率达超过90%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马瑾	山东大学物理与微电子学院	44	495	13.0	20.0
2	计峰	山东大学物理与微电子学院	23	185	7.0	13.0
3	马洪磊	山东大学物理与微电子学院	58	681	15.0	23.0
4	余旭浒	山东大学物理与微电子学院	11	144	6.0	11.0
5	黄树来	山东大学物理与微电子学院	5	72	4.0	5.0
6	王玉恒	山东大学物理与微电子学院	10	142	6.0	10.0