结构选择优化及过正量膜厚控制在激光析光膜中的应用

• 作者: 姚细林 童南春 胡勇
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 结构选择性优化设计 极值法 过正控制量 光学监控沉积仿真
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 光学薄膜
• 页码范围: 17-19
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 1828字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2004.05.006

摘要

分析了膜系设计中的膜层结构选择性优化方法,阐述了用光电极值法控制非λ/4膜系的膜厚的方法一计算出沉积每一层具有极值的波长,然后根据此波长,给出一定的过正量进行膜厚模拟,最后确定每一层的监控波长.利用这种方法可以提高膜系厚度的控制精度.该文介绍了自主开发膜系设计软件的部分功能,并利用该软件设计并镀制出1060nm的激光析光膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚细林		3	13	2.0	3.0
2	童南春		2	4	1.0	2.0
3	胡勇		1	1	1.0	1.0