空气和氧气气氛下p-GaN/Ni/Au合金性质

• 作者: 于彤军 张国义 杨华 杨志坚 秦志新 胡成余 胡晓东 陈志忠
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化镓 欧姆接触 同步辐射X射线衍射
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 691-695
• 页数: 5页
• 分类号: TN209
• 字数: 2368字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2004.06.015

摘要

研究了p-GaN上的Au/Ni双金属层在空气气氛和氧气气氛下合金对其欧姆接触性质的影响.使用同步辐射高强度X射线衍射观察到明显的NiO衍射峰.随着合金时间的增加,NiO和Au的结晶性均明显变好,NiO的衍射峰强度随合金时间的增加而增强,同时发现Au(111)沿GaN的(0001)面择优形成单晶.测得Ni/Au-p-GaN-Ni/Au串联电阻在合金后明显降低,表明接触性质改善与结晶性的提高有关.同时发现氧气下合金比空气下合金形成NiO更快,相应的串联电阻也更快地下降.