基于数学建模要求下先进的提拉法控制系统研制

• 作者: Danielle Wilson Michael Gevelber Ning Duanmu 李勇 董淑梅 闫建文
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 计算机模拟 控制系统设计 生长模型 热传递 直拉法 半导体Si
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: 新设备与新机构
• 页码范围: 58-63
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.053
• 字数: 4449字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2004.10.015

摘要

提出了在开发一种先进的直拉法晶体生长控制系统中占据重要地位的设备及工艺特征的下位机模型;分析所采集到的实验数据,揭示出控制中的重要问题,由此开发了一种新的控制结构;该模型是建立在常规控制结构和提出新的控制结构性能对比的基础上.