新型AgInSbTe相变薄膜的光学及记录性能

• 作者: 刘音诗 干福熹 张广军 李青会 顾冬红
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜光学 相变薄膜 AgInSbTe 磁控溅射 记录性能 反射率衬比度
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 1463-1467
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 3051字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2004.11.006

摘要

利用直流磁控溅射法制备了一种新型AgInSbTe相变薄膜.示差扫描量热(DSC)实验测定的结晶峰温度为193.92℃.X射线衍射(XRD)表明未经热处理的沉积态薄膜是非晶态,而经过200℃热处理,X射线衍射图出现衍射峰,薄膜从非晶态转变到晶态.同时,研究了晶态和非晶态相变薄膜的吸收率、透射率和反射率随波长的变化.测定了650 nm激光作用下的相变薄膜的记录性能,分析了记录功率、记录脉宽对薄膜反射率衬比度的影响,在同一记录脉宽条件下,记录功率越大,反射率衬比度也越大;在同一记录功率条件下,随记录脉宽的增加,反射率衬比度也增大.结果表明,新型AgInSbTe相变薄膜在激光作用下具有较高的反射率衬比度,可获得良好的记录性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	干福熹	中国科学院上海光学精密机械研究所	288	2527	23.0	29.0
2	李青会	中国科学院上海光学精密机械研究所	64	410	12.0	16.0
3	顾冬红	中国科学院上海光学精密机械研究所	65	551	12.0	19.0
4	张广军	中国科学院上海光学精密机械研究所	6	17	3.0	3.0
5	刘音诗		3	6	1.0	2.0