基于Cr过渡层沉积CVD金刚石涂层的试验研究

• 作者: 卢文壮 左敦稳 王珉 黎向锋
• 来源期刊: 南京航空航天大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石膜 Cr 过渡层 硬质合金
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 462-465
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2355字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2615.2004.04.012

摘要

研究了在硬质合金上基于Cr过渡层沉积CVD(Chemical vapor deposition)金刚石涂层的工艺,利用自制的CVD金刚石沉积设备制备出晶形完整、晶粒大小均匀、分布连续的金刚石涂层.用SEM和Raman光谱对CVD金刚石涂层进行了分析.结果表明,沉积工艺对金刚石的形态和成分有显著影响,基体温度在800℃左右时,可以得到晶形完整,非金刚石成分较少,与基体结合紧密的CVD金刚石涂层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢文壮	南京航空航天大学机电学院	94	520	12.0	17.0
2	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
3	王珉	南京航空航天大学机电学院	205	2631	27.0	40.0
4	黎向锋	南京航空航天大学机电学院	109	810	15.0	20.0