MEMS悬臂式开关的失效分析

• 作者: 于绍欣 徐欣 朱自强 朱荣锦 李成诗 王跃林 葛羽屏 赖宗声 郭方敏 陆卫
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 寿命 悬臂接触式开关 驱动电压 失效 ANSYS
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 492-496
• 页数: 5页
• 分类号: TN405
• 字数: 3483字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2004.03.034

摘要

介绍了一种表面微机械系统开关,悬臂材料为Au/SiOxNy/Au铬金作为电欧姆接触.用静电激励(激励电压为13 V)方式,测试其隔离度.获得结果为微机械开关在1～40 GHz的范围内隔离度可高达35 dB.我们采用对开关施加激励方波脉冲的方法测试寿命.结果寿命接近105,应用ANSYS对几种不同的MEMS射频接触悬臂开关模型进行了力电耦合分析和失效机理.