基于最小二乘拟合的不同探针测量线宽的比较

• 作者: Joseph Fu 肖增文 褚巍 赵学增
• 来源期刊: 哈尔滨工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 线宽 原子力显微镜 探针 最小二乘拟合
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 页码范围: 1514-1519
• 页数: 6页
• 分类号: TB92
• 字数: 3630字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0367-6234.2004.11.025

摘要

AFM探针的形貌和尺寸对纳米尺度线宽的测量有较大影响.首先建立了一个基于最小二乘的应用于AFM测量技术的线宽计量模型,并使用三种不同探针在NanoScopeⅢa型AFM上对设计线宽尺寸为1000nm的样本进行了测量.应用该模型和算法对线宽进行计算,揭示出探针尺寸对线宽测量结果的影响以及该模型对探针尺寸的依赖性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵学增	哈尔滨工业大学机电工程学院	133	1496	19.0	30.0
2	褚巍	哈尔滨工业大学机电工程学院	17	111	6.0	9.0
3	肖增文	哈尔滨工业大学机电工程学院	14	87	6.0	8.0