6H-SiC单晶中的微管和小角度晶界

• 作者: 徐现刚 李现祥 王继扬 胡小波 董捷 蒋民华 韩荣江
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 透射偏光显微术 同步辐射X射线形貌术 高分辨X射线衍射 6H-SiC单晶 微管 小角度晶界
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 288-291
• 页数: 4页
• 分类号: O77
• 字数: 2161字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.03.002

摘要

利用透射偏光显微术、同步辐射X射线形貌术、高分辨X射线衍射方法对6H-SiC(0001)晶片中的微管和小角度晶界等缺陷进行了研究.实验发现,在透射偏光显微镜下,微管通常呈现为蝴蝶形,这是由于微管周围存在着应力场,且应力分布不均匀,当线偏振光在通过微管周围区域时传播速度不同造成的.从X射线背反射同步辐射形貌像得到晶片中微管的Burgers矢量大小在2c到10c之间.从晶片00012衍射的双晶衍射摇摆曲线可以看出,晶片的中间大部分区域质量很好,双晶衍射峰为单峰且半峰宽很窄,一般为35"左右.在外围区域双晶衍射峰的半峰宽变宽,有些区域还会出现衍射峰的分裂,这说明外围区域有嵌镶块结构存在.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王继扬	山东大学晶体材料国家重点实验室	200	1444	21.0	30.0
2	胡小波	山东大学晶体材料国家重点实验室	67	321	9.0	14.0
3	蒋民华	山东大学晶体材料国家重点实验室	109	811	14.0	23.0
4	徐现刚	山东大学晶体材料国家重点实验室	77	407	10.0	16.0
5	韩荣江	山东大学晶体材料国家重点实验室	7	62	4.0	7.0
6	李现祥	山东大学晶体材料国家重点实验室	5	70	4.0	5.0
7	董捷	山东大学晶体材料国家重点实验室	4	63	3.0	4.0