MEMS技术研究及应用

• 作者: 金铃
• 来源期刊: 现代雷达
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS技术,射频 MEMS,应用产品
• 年，卷（期）: 2004,（12）
• 所属期刊栏目: 总体工程
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: TN957.8
• 字数: 4991字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-7859.2004.12.008

摘要

首先阐述了微电子机械系统(MEMS)技术的基本概念、特点及概况;其次,介绍了MEMS技术的分类及在各领域的应用产品;最后,重点介绍了RF MEMS技术,包括某些RF MEMS器件的典型结构及性能指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金铃		5	64	3.0	5.0