论直拉单晶炉技术平台的逻辑演进

• 作者: 丁积军 李剑侠 田炜 许扬 赵一谦 郑伟民
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶炉 晶体生长 产品研发 技术平台
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 448-454
• 页数: 7页
• 分类号: TM9
• 字数: 6657字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.03.040

摘要

要求不断增大晶棒直径、不断提高晶体质量的晶圆市场,推动我国直拉单晶炉产品系列出现过三代更替,与此对应,产品赖以存在的技术平台也经历了三个阶段的演进.第四代产品研发需要在以往技术积累基础上,在炉室材料、炉体结构、焊接工艺、机械传动和电气控制、计算机智能控制、磁场发生装置和热场材料等方面进行新一轮技术创新.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许扬	西安理工大学晶体生长设备研究所	15	171	5.0	13.0
2	田炜	西安理工大学晶体生长设备研究所	3	14	2.0	3.0
3	赵一谦	西安理工大学晶体生长设备研究所	1	12	1.0	1.0
4	李剑侠	西安理工大学晶体生长设备研究所	1	12	1.0	1.0
5	郑伟民	西安理工大学晶体生长设备研究所	2	17	2.0	2.0
6	丁积军	西安理工大学晶体生长设备研究所	2	23	2.0	2.0