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摘要:
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一种光刻胶专用树脂的生产方法及应用
光刻胶
专用树脂
生产工艺
应用
光刻胶级214-磺酰氯的生产方法及应用
光刻胶
214-磺酰氯
生产方法
应用
电子束光刻“自主可控”EDA软件HNU-EBL
电子束光刻
计算光刻
Monte Carlo方法
邻近效应校正
EDA软件
硅通孔用光刻胶雾化喷涂技术
硅通孔
光刻胶
雾化喷涂
加热吸盘
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 Fuji Film Arch投资30亿日元扩产电子用光刻胶
来源期刊 精细与专用化学品 学科
关键词
年,卷(期) 2004,(3) 所属期刊栏目 电子化学品
研究方向 页码范围 33-34
页数 2页 分类号
字数 1447字 语种 中文
DOI
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
精细与专用化学品
月刊
1008-1100
11-3237/TQ
大16开
北京市安外小关街53号
82-877
1986
chi
出版文献量(篇)
7403
总下载数(次)
24
总被引数(次)
20231
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