一种新型CMOS兼容湿度传感器

• 作者: 严先蔚 张中平 秦明 顾磊 黄庆安
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 湿度传感器 微电子机械系统 CMOS MEMS
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 174-178
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 2944字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.02.011

摘要

给出了与CMOS工艺兼容的一种新型梳齿状湿度传感器的结构、工艺流程及其测试结果.利用Coventor软件对这种新型结构进行了理论分析,对制备出的湿度传感器的性能如灵敏度、滞回特性、重复性、响应时间等进行了测试并讨论.结果表明文中提出的CMOS湿度传感器工艺简单、响应时间快、成本低、灵敏度高,有望在实际中得到应用.