In掺杂ZnO薄膜的制备及其特性研究

• 作者: 宋长安 朋兴平 杨映虎 王印月
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜光学 ZnO薄膜 In掺杂 光致发光谱 射频反应溅射
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 1459-1462
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2+1
• 字数: 2456字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2004.11.005

摘要

采用射频反应溅射技术在硅(100)衬底上制备了未掺杂和掺In的ZnO薄膜.掠角X射线衍射测试表明,实验中制备的掺In样品为ZnO薄膜.用X射线衍射仪、原子力显微镜和荧光分光光度计分别对两样品的结构、表面形貌和光致发光特性进行了表征,分析了In掺杂对ZnO薄膜的结构和发光特性的影响.与未掺杂ZnO薄膜相比,掺In ZnO薄膜具有高度的C轴择优取向,同时样品的晶格失配较小,与标准ZnO粉末样品之间的晶格失配仅为0.16%;掺In ZnO薄膜表面平滑,表面最大不平整度为7 nm.在掺In样品的光致发光谱中观察到了波长位于415 nm和433 nm处强的蓝紫光双峰,对掺In样品的蓝紫双峰的发光机理进行了讨论,并推测出该蓝紫双峰来源于In替位杂质和Zn填隙杂质缺陷.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋长安	兰州大学物理科学与技术学院	27	86	4.0	8.0
2	朋兴平	兰州大学物理科学与技术学院	10	188	7.0	10.0
3	王印月	兰州大学物理科学与技术学院	39	567	15.0	23.0
4	杨映虎	兰州大学物理科学与技术学院	13	137	7.0	11.0