薄膜物理与制备技术

• 作者: 何智兵 冯建鸿 吴卫东 唐晓红 唐永建 张继成 李俊 许华 陈志梅 黄勇
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 物理学
• 关键词: 制备技术 薄膜物理 ICF实验 薄膜靶 物理实验 制备科学 多样化 精密化
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 416
• 页数: 1页
• 分类号: O484.1

摘要

薄膜物理和制备是ICF物理实验制靶中的一项重要环节，随着ICF实验的深入，薄膜靶和薄膜靶零件作为一种重要的靶型，其需求呈现多样化、复杂化和精密化。探索各种薄膜靶的结构与性能、新的制备技术成为靶制备科学的重要研究内容。