EIS型半导体生化传感器EI界面势的理论模拟

• 作者: 俞梅 刘国华 张福海 牛文成 贾芸芳
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体生化传感器 EI界面势模型 计算机辅助分析
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 2196-2201
• 页数: 6页
• 分类号: TN386
• 字数: 2606字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.11.028

摘要

建立了较完整的适用于EIS(electrolyte insulator semiconductor)型生化传感器的EI界面势理论模型,在此基础上开发了EI界面的计算机辅助分析程序,对EI界面中双电层电势分布、带电格点密度、EI界面势进行了深入的定量分析,最后将EI界面势模拟结果与ISFET(ion sensitive field effect transistor)的实测结果进行了比较,进一步验证了文中的理论模型.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	牛文成	南开大学信息技术科学学院微电子系	48	515	11.0	21.0
2	俞梅	南开大学信息技术科学学院微电子系	11	30	4.0	5.0
3	张福海	南开大学信息技术科学学院微电子系	17	37	4.0	5.0
4	贾芸芳	南开大学信息技术科学学院微电子系	25	64	5.0	6.0
5	刘国华	南开大学信息技术科学学院微电子系	26	204	7.0	13.0