氟气—清洗化学气相沉积

• 来源期刊: 无机化工信息
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体业 原料供应 行业 领先地位 替代性 短缺 运输 氟气 反应器 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 25-28
• 页数: 4页
• 分类号: TQ124.3

摘要

过去多年以来，在减少氟化物的排放方面，半导体业行业一直处于领先地位。在气相沉积反应器清洗上，人们研究了许多替代性的的气体和工艺方法，但是，由于这些原料供应短缺，或者需要用高压钢瓶运输，或者有造成显著的温室效应的可能，所以这些方法都不是很理想。