超大规模集成电路用超净高纯过氧化氢的制备研究

• 作者: 吴家白 惠绍樑 杨晓天 汤慧 沈丽萍 许振良 郎万中 魏永明
• 来源期刊: 化学试剂
• 学科: 工学
• 关键词: 超净高纯化学品 过氧化氢 吸附-离子交换-膜分离 集成分离
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: 生产与提纯技术
• 页码范围: 633-636,638
• 页数: 5页
• 分类号: TQ421.4
• 字数: 4278字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-3283.2005.10.022

摘要

采用吸附-离子交换-膜分离集成纯化制备了超净高纯过氧化氢,讨论了过氧化氢中各种树脂的温度变化、不同膜对过氧化氢中颗粒脱除的影响和过氧化氢纯化效果.此外,分析了超净高纯化学品生产中存在的问题,为今后的高纯超净化学品提出了方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许振良	华东理工大学化学工程研究所	177	2526	25.0	42.0
2	魏永明	华东理工大学化学工程研究所	27	204	8.0	13.0
3	杨晓天	华东理工大学化学工程研究所	6	97	6.0	6.0
4	郎万中	华东理工大学化学工程研究所	6	89	5.0	6.0
5	沈丽萍		2	17	1.0	2.0
6	汤慧		1	17	1.0	1.0
7	吴家白		1	17	1.0	1.0
8	惠绍樑		1	17	1.0	1.0