背照式电荷耦合器件的研制

• 作者: 刘德林 张心建 戴丽英 扬卉 李慧蕊 钟伟俊
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电荷耦合器件 背照 成像 衬底减薄
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 146-149
• 页数: 4页
• 分类号: TN386.5
• 字数: 2586字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-488X.2005.03.002

摘要

简要介绍了背照电荷耦合器件的工作原理、潜在优势和应用领域.设计了对常规电荷耦合器件芯片进行衬底减薄进而实现背照电荷耦合器件的技术方案.给出了相关的设计方法和工艺流程并对关键工艺技术进行了探讨.对所制成的背照电荷耦合器件组件的性能进行了分析和讨论.结果表明所提出并采用的技术方案是可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴丽英	中国电子科技集团公司第五十五研究所	11	53	4.0	7.0
2	钟伟俊	中国电子科技集团公司第五十五研究所	8	26	2.0	5.0
3	李慧蕊	中国电子科技集团公司第五十五研究所	5	57	4.0	5.0
4	刘德林	中国电子科技集团公司第五十五研究所	6	20	2.0	4.0
5	张心建	中国电子科技集团公司第五十五研究所	1	14	1.0	1.0
6	扬卉	中国电子科技集团公司第五十五研究所	1	14	1.0	1.0