衬底对沉积类金刚石薄膜结构和摩擦学性能的影响

• 作者: 刘惠文 常海波 张治军 徐洮
• 来源期刊: 河南大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 衬底 类金刚石薄膜 结构 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 化学与化工
• 页码范围: 32-34
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 2037字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-4978.2005.04.008

摘要

利用直流-射频等离子化学气相沉积技术在玻璃、硅和钢表面沉积得到了薄膜,并用拉曼光谱和原子力对薄膜的结构和形貌进行了表征,用静动摩擦实验机对薄膜的摩擦学性能进行了测试. 结果表明:沉积在硅和钢表面的薄膜具有典型类金刚石薄膜的特征,而沉积在玻璃表面的薄膜呈现类聚合物结构的特征,且沉积在玻璃表面的薄膜具有比较粗糙的表面,而沉积在硅表面的薄膜则比较光滑致密. 摩擦学实验表明,沉积在硅表面的薄膜具有良好的摩擦学性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张治军	河南大学特种功能材料实验室	315	5372	34.0	55.0
2	刘惠文	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	26	376	13.0	19.0
3	徐洮	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	75	815	16.0	23.0
4	常海波	河南大学化学化工学院	28	79	5.0	7.0