基底对类金刚石薄膜摩擦学性能的影响

• 作者: 张仁辉 赵娟
• 来源期刊: 河北科技大学学报
• 学科: 化学
• 关键词: 摩擦学 摩擦系数 类金刚石 Raman SEM TEM
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 国家青年/地区科学基金项目专栏
• 页码范围: 244-248
• 页数: 5页
• 分类号: O646
• 字数: 2656字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7535/hbkd.2017yx03005

摘要

为了研究不同基底对类金刚石薄膜摩擦磨损性能的影响,采用等离子体增强化学气相沉积方法在高速钢、SiC和304不锈钢基底上成功制备了类金刚石薄膜.采用SEM,TEM,Raman测试手段对膜层的微结构进行了表征:SEM表征结果显示膜层总厚度约为6.5 μm,而且层与层之间有明显的界面;TEM表征结果显示沉积的膜层为无定型结构;Raman光谱分析显示沉积的薄膜存在明显的G峰和D峰,可以确定沉积的薄膜为类金刚石薄膜.摩擦测试结果显示,基底对类金刚石薄膜摩擦磨损性能具有显著影响,对于不同基底,钢球对偶上均存在明显的转移膜,高速钢基底的磨痕宽度最小,而且沉积在高速钢基底上的类金刚石薄膜具有最低的磨损率,摩擦系数约为0.1.采用Raman光谱对不同基底磨痕表面微结构进行了分析,认为高速钢基底具有最低磨损率可归因于其磨痕的石墨化程度低.研究可为制备具有优异摩擦磨损性能的类金钢石薄膜提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张仁辉	铜仁学院材料与化学工程学院	4	2	1.0	1.0
2	赵娟	铜仁学院材料与化学工程学院	6	3	1.0	1.0