室温晶片键合界面的弹性理论分析

• 作者: 任晓敏 周震 陈斌 黄永清
• 来源期刊: 光电子技术与信息
• 学科: 物理学
• 关键词: 室温晶片键合 接触弹性力学 吸附能 表面能
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与实验
• 页码范围: 11-14
• 页数: 4页
• 分类号: O343.3
• 字数: 2768字
• 语种: 中文

摘要

利用接触弹性力学的DMT(Derjaguin,Muller,Toporov)理论,考虑晶片表面起伏的随机性,导出了晶片键合的实际接触面积和有效键合能.并对结果进行了数值分析.讨论了影响室温键合强度大小的各种因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄永清	北京邮电大学光通信中心	196	987	13.0	18.0
2	任晓敏	北京邮电大学光通信中心	189	942	13.0	18.0
3	周震	北京邮电大学光通信中心	13	39	3.0	5.0
4	陈斌	北京邮电大学光通信中心	27	158	7.0	10.0