场效应纳电子晶体管的构造和电学特性测量

• 来源期刊: 北京大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 单壁碳纳米管 化学气相沉积 肖特基势垒 场效应晶体管
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 页码范围: 769-773
• 页数: 5页
• 分类号: TN04|TN103
• 字数: 2608字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0479-8023.2005.05.016

摘要

研究了场效应纳电子晶体管构造过程中金属电极的结构设计,源-漏电极高度、SiO2绝缘层厚度以及金属电极选材等因素对器件性能有关键的影响.在此基础上测量了单壁碳纳米管束的场效应行为,构造成功基于单壁碳纳米管束的场效应晶体管.