金刚石-金属复合薄膜的电沉积规律

• 作者: 姚宁 张兵临 方莉俐
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 电铸 金刚石薄膜 搅拌 沉积规律 XPS XRD SEM
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 开发与应用
• 页码范围: 36-38,41
• 页数: 4页
• 分类号: TQ164
• 字数: 1966字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2005.01.010

摘要

简要介绍了用电铸法制备金刚石-金属复合薄膜的方法,给出了薄膜的沉积规律,指出:电镀工艺参数如阴极电流密度、镀液中金刚石含量、搅拌等对沉积结果影响很大,而pH值、温度、阳阴极间距对沉积结果影响不很明显,重点给出了搅拌速度和位置对薄膜中金刚石含量分布的影响,搅拌速度太低金刚石颗粒分布不均匀,而搅拌速度太高则会引起沉积密度很低甚至无金刚石沉积,最佳搅拌速度范围为180r/m～220r/m,最佳搅拌位置在镀液下部.并从沉积机理的角度对所得结果作了简要分析.此外,采用扫描电镜(SEM)、X射线光电子谱(XPS)、X射线衍射(XRD)等检测手段研究了该薄膜显微结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方莉俐	中原工学院数理系	33	141	8.0	10.0
2	张兵临		3	31	3.0	3.0
3	姚宁	中原工学院数理系	1	11	1.0	1.0