金刚石薄膜的低温沉积

• 作者: 张文文 马志斌
• 来源期刊: 武汉化工学院学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 微波等离子体 化学气相沉积 金刚石薄膜 乙醇
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 页码范围: 40-42
• 页数: 3页
• 分类号: O539|O484
• 字数: 2233字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2869.2003.04.013

摘要

采用乙醇和氢气作为工作气体,利用微波等离子体化学气相沉积法在较低的沉积温度下制备了金刚石薄膜,用扫描电子显微镜(SEM)、Raman光谱、X射线衍射仪(XRD)和红外光谱研究了薄膜的结构和性质.结果表明:在450 ℃的基片温度下,利用乙醇和氢气在优化的工艺条件下可得到具有微晶结构的金刚石薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马志斌	武汉化工学院材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	24	335	9.0	17.0
2	张文文	武汉化工学院材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	1	5	1.0	1.0