氟化类金刚石薄膜的沉积及性能研究现状

• 作者: 唐雄心 赵建生
• 来源期刊: 湖北汽车工业学院学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氟化类金刚石薄膜 研究进展
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 材料工程
• 页码范围: 16-20
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 4941字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-5483.2001.04.005

摘要

类金刚石薄膜是80年代初出现的新型非金属薄膜材料之一 ,其优异的综合性能引起了人们极大的兴趣.本文对类金刚石薄膜的近期进展进行了概括性介绍,重点介绍在此基础上发展起来的氟化类金刚石薄膜材料(FDLC),包括氟元素对类金刚石薄膜(DLC)在结构、性能及在沉积工艺上所带来的的影响等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐雄心	华中科技大学材料学院	2	13	2.0	2.0
2	赵建生	华中科技大学材料学院	3	24	3.0	3.0