悬臂梁微尖端器件的制备与应用研究进展

• 作者: 叶甜春 杨清华 欧毅 焦斌斌 董立军 陈大鹏
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描隧道显微镜 MEMS 微尖端 悬臂梁
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 专题报道
• 页码范围: 15-19
• 页数: 5页
• 分类号: TN40
• 字数: 1744字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2005.01.004

摘要

随着扫描隧道显微镜(SPM)家族的成熟,悬臂梁微尖端MEMS器件的广泛应用前景也逐渐清晰.对悬臂梁微尖端MEMS器件的种类、微尖端制作方法以及现今的研究应用方向进行了论述,最后指出了悬臂梁微尖端MEMS器件向着大规模阵列化发展的方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶甜春	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室	200	911	14.0	18.0
2	焦斌斌	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室	13	21	3.0	3.0
3	欧毅	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室	17	77	5.0	7.0
4	陈大鹏	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室	79	466	10.0	17.0
5	董立军	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室	11	46	4.0	6.0
6	杨清华	中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室	7	24	3.0	4.0