小物体接触运动的动力运动学研究

• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 接触理论 爬行摩擦 运动学 表面粗糙度 微机电系统
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 81-91
• 页数: 11页
• 分类号: TH113
• 字数: 1366字
• 语种: 中文

摘要

当器件尺寸变得很小时,相对于弹力,惯性力就显得不重要.从理论上详细研究了两个小的接触运动体可以视为刚体时的极限情况下所出现的动力学现象.得出了一种新的基于运动学原理的运动接触机理,它有着与传统接触理论完全不同的特性.研究表明,诸如MEMS之类小型装置的动力学特性能很好地服从这种新的运动学理论,且应用这种新的机理能有助于防止摩擦中出爬行.