一种硅芯片/玻璃环静电键合的简易装置

• 作者: 丁建宁 杨平 王文襄 王权
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压阻式压力传感器 硅芯片 PYREX7740 静电键合 简易装置
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 214-216,221
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 1712字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2005.03.014

摘要

随着微机电系统(MEMS)技术的发展,促进了半导体硅压阻式压力传感器低成本和集成化,使其得到了广泛应用;在压阻式压力传感器无应力封装工艺中,硅芯片/PYREX7740玻璃环静电键合起着重要的作用.本文论述了静电键合基本原理,以此研制了适合于大批量生产的静电键合简易装置,实践表明此装置易操作,施加键合静电电压降为160V,键合时间缩短为约2分钟,键合界面具有较大的封接强度和耐高温冲击性,满足了压力传感器制作的无应力封装的需要,具有实用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨平	江苏大学微纳米科学技术研究中心	39	198	8.0	11.0
2	丁建宁	江苏大学微纳米科学技术研究中心	146	769	14.0	19.0
3	王权	江苏大学微纳米科学技术研究中心	31	183	8.0	11.0
4	王文襄		8	54	5.0	7.0