掺锑Zn-Sn-O透明导电膜的制备及特性

• 作者: 余旭浒 姜永超 盖凌云 计峰 马洪磊 马瑾 黄树来
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 Zn-Sn-O:Sb膜 光电性质
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 页码范围: 626-630
• 页数: 5页
• 分类号: TK511+.4
• 字数: 2704字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2005.05.006

摘要

采用射频磁控溅射技术在7059玻璃衬底上低温制备出具有多晶结构的掺锑锌-锡-氧(Zn-Sn-O:Sb)透明导电膜.研究了制备薄膜的结构、成分、电学和光学特性以及退火温度对薄膜性能的影响.Zn-Sn-O:Sb透明导电膜的电阻率为1.5×10-2Ω·cm,相应载流子浓度和霍尔迁移率分别为8.0×1019cm-3,5.8cm2·v-1·s-1.薄膜的可见光平均透过率达到了85%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马瑾	山东大学物理与微电子学院	44	495	13.0	20.0
2	计峰	山东大学物理与微电子学院	23	185	7.0	13.0
3	马洪磊	山东大学物理与微电子学院	58	681	15.0	23.0
4	余旭浒	山东大学物理与微电子学院	11	144	6.0	11.0