Ag层厚度对NiCo/Ag多层膜的微结构及磁学性能的影响

• 作者: 曾飞 杨国华 潘峰 耿魁伟 艾家和 高阳
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: NiCo/Ag磁性多层膜 磁控溅射 微观结构 磁学性能
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 47-50
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2752字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2005.z1.011

摘要

采用磁控溅射方法制备了不同Ag层厚度的NiCo/Ag多层膜,研究了Ag层厚度对NiCo/Ag多层膜微结构及其磁学性能的影响.研究结果表明,NiCo/Ag多层膜中NiCo层在FCC的Ag层上准外延生长,为亚稳结构相.该多层膜的晶粒尺寸明显地随着Ag层厚度增加而增大,当Ag层厚度为1.0nm时,多层膜是由约为5 nm纳米晶所组成;当Ag层厚度增加到3.6nm时,多层膜的晶粒尺寸增大到50nm左右.将NiCo层厚度固定为1.8 nm时,Ag层厚度的变化对NiCo/Ag多层膜的磁学性能有很强的影响,当Ag层厚度为1.0 nm时,其易磁化轴倾向垂直于膜面;当Ag层厚度达到2.0 nm时,易磁化轴平行于膜面;当Ag层厚度增厚至3.0 nm以上,多层膜表现出超顺磁特性.