用离子源技术制备类金刚石膜研究

• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石膜 无灯丝离子源 非平衡磁控溅射 大面积
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 1743字
• 语种: 中文

摘要

采用无灯丝离子源结合非平衡磁控溅射的方法,大面积地在不同基体上制备了光滑、均匀的类金刚石(DLC)膜层,用SEM、Raman、XPS、硬度计、划痕仪等手段分析和研究了膜层的形貌、结构及部分性能.结果表明:钛的掺入,有利于减少内应力、提高膜/基结合力,膜层的综合性能好,更适合于精密器件的表面改性.