短距无线RF-MEMS前端演示模块研究

• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 射频 MEMS 微带天线
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 声表面波技术
• 页码范围: 468-470
• 页数: 3页
• 分类号: TN82
• 字数: 1942字
• 语种: 中文

摘要

通过对短距无线RF前端演示模块的研究,概括了以MEMS器件为基础的下一代RF-MEMS系统的具体技术指标,并展示了其技术可行性,讨论了RF-MEMS器件的现行状况和发展.