RF-MEMS器件及其关键工艺技术

• 作者: 郭东辉 陈华君
• 来源期刊: 集美大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 射频器件 微电子机械系统 RF-MEMS 工艺技术
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 114-120
• 页数: 7页
• 分类号: TN61
• 字数: 3049字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7405.2005.02.004

摘要

综合介绍目前无线通讯产品中使用的各种类型RF-MEMS器件,统一说明RF-MEMS器件的基本工作原理,并分析RF-MEMS器件加工的关键工艺技术及设计制作时应注意的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭东辉	厦门大学物理与机电工程学院	129	1611	20.0	35.0
2	陈华君	厦门大学物理与机电工程学院	7	180	4.0	7.0