Nd:YAG固体激光铣削单晶硅表面形貌研究

• 作者: 曾晓雁 袁根福
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光铣削 单晶硅 表面形貌
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 页码范围: 145-147
• 页数: 3页
• 分类号: TN2
• 字数: 1730字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-372X.2005.03.001

摘要

利用体视显微镜和扫描电子显微镜观察Nd:YAG固体脉冲激光铣削的单晶硅表面形貌,利用能谱分析仪EDAX对铣削表面进行成分分析.不同功率密度的激光铣削的单晶硅表面形貌差别比较大,其表面化学成分也存在较大差别.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾晓雁	华中科技大学激光技术国家重点实验室	144	2006	25.0	36.0
2	袁根福	安徽建筑工业学院激光加工联合研究中心	41	358	11.0	17.0