MEMS与MEMS光开关

• 作者: 张兴社 梁宏军
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 光开关 光通信
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 60-62
• 页数: 3页
• 分类号: TN256
• 字数: 2905字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2082.2005.01.017

摘要

微机电系统(MEMS)技术是一种新型制造技术,在光通信的发展中得到广泛的应用,有极大的市场价值.在整个光通信中,光开关是较为重要的光无源器件,在光网络系统中可对光信号进行选择性操作.随着光通信的日益发展,对光开关的技术要求也日益提高,利用MEMS技术制作的新型光开关具有体积小、重量轻、能耗低、集成化程度高等特点,从而日益成为研究的热点.本文简单介绍了MEMS技术和其主要特点,并较详细地阐述了MEMS技术在光通信中的应用,以及MEMS光开关的结构、发展趋势和目前存在的主要问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁宏军	西安通信学院数理教研室	12	104	5.0	10.0
2	张兴社	中国人民解放军陆航局驻西安地区军代室	3	22	2.0	3.0