基于NEMS技术的硅基纳机电探针阵列器件研究

• 作者: 于映 李昕欣 杨尊先 林丽华
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: NEMS 压阻敏感器 纳机电探针 数据存储
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 766-770
• 页数: 5页
• 分类号: TN405
• 字数: 3068字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2005.04.023

摘要

进行一种用于高密度存储的硅基纳机电探针阵列器件研究.并采用理论计算和有限元模拟相结合方法对器件进行了设计;使用先进的微纳加工工艺技术将压阻敏感器和电阻加热器集成到超薄悬臂梁-针尖结构纳机电探针阵列器件上,实现器件制作;随后,进行器件电热特性及其敏感特性测试,测试结果与模拟结果相吻合;借助于原子力学显微镜在聚合物有机薄膜上实现了数据写入,优化写入条件后,数据记录面密度达31.6 GB/in2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于映	福州大学电子科学与应用物理系	36	343	8.0	17.0
2	李昕欣	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室	52	280	11.0	13.0
3	杨尊先	福州大学电子科学与应用物理系	34	85	5.0	7.0
4	林丽华	福州大学电子科学与应用物理系	6	20	3.0	4.0