酸浸+等离子体刻蚀YG6微米-纳米金刚石复合涂层工具研究

• 作者: 吕反修 吕建国 唐伟忠 张鬲君 王成彪 苗晋琦
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 硬质合金 金刚石复合涂层 附着力 切削性能
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 18-23
• 页数: 6页
• 分类号: TF1253+4
• 字数: 3723字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2005.05.006

摘要

金刚石涂层工具一直是金刚石膜工具应用研究的主流.制约其产业化的主要因素是涂层的附着力低和微晶金刚石涂层工具的加工精度差.通过对衬底的有效预处理和CVD沉积过程控制的研究,开发在硬质合金基体上沉积高结合强度、低粗糙度的金刚石涂层新技术,对于实现CVD金刚石涂层刀具高效、高精度切削加工具有重要意义.对旨在提高金刚石涂层附着力的预处理技术,本文探索了将酸蚀脱钴+等离子体刻蚀处理衬底法.利用优化的沉积工艺,在酸浸+等离子刻蚀处理的YG6刀片上沉积的两层金刚石复合膜表面粗糙度为0.13μm,附着力压痕测试临界载荷大于1500N.金刚石涂层工具的切削加工性能明显高于无涂层硬质合金工具.在加工ZAlSi12合金时,单层和两层金刚石涂层车刀片的切削寿命分别是无涂层车刀片切削寿命的21倍和28倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修		151	1208	18.0	24.0
2	唐伟忠		106	860	16.0	21.0
3	王成彪		60	471	13.0	18.0
4	张鬲君		15	58	4.0	7.0
5	吕建国		27	117	6.0	10.0
6	苗晋琦		4	20	3.0	4.0